[发明专利]TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液有效
| 申请号： | 201710465095.8 | 申请日： | 2017-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN107153329B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 戈烨铭 | 申请（专利权）人： | 江阴润玛电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 隋玲玲 |
| 地址： | 214423 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种TFT行业铜制程用高回收率环保型剥离液，包括如下质量百分比的成分，醇醚40～50%，低沸点有机溶剂30～45%，缓蚀剂1～5%，非离子型表面活性剂1～5%，余量为纯水。其中，低沸点有机溶剂为酰胺类或内酰胺类低沸点有机溶剂中的一种或几种。试验证明该剥离液在常温下非常稳定，剥离速度快，使用成本低，寿命长。采用低沸点的有机溶剂后能够显著提高剥离液中有效成分的回收。 | ||
| 搜索关键词： | tft 行业 铜制 程用高 回收率 环保 剥离 | ||
【主权项】：
暂无信息
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