[发明专利]一种用F-P标准具测量二维微位移的装置与方法有效
| 申请号： | 201710469151.5 | 申请日： | 2017-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN107144224B | 公开（公告）日： | 2019-04-16 |
| 发明（设计）人： | 朱鹤年;沈小燕;李东升;蔡晋辉;孙志鹏 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用F‑P标准具测量二维微位移的装置与方法。包括光源、柔性光纤和面阵成像器件，光源与柔性光纤连接，柔性光纤输出端前方布置面阵成像器件，柔性光纤和面阵成像器件之间设置有准光组合部件，通过准光组合部件将柔性光纤出射的光束处理成共轴同圆心的一系列同心圆并成像到面阵成像器件上，准光组合部件包括滤光片、F‑P标准具和物镜；计算每个圆环分别沿坐标轴方向的圆心坐标，确定每个圆环的圆心坐标，由面阵成像器件移动前后的圆心坐标相减获得二维微位移值。本发明测量装置简单紧凑且造价较低，方法微位移重复性标准差可达20nm以下，准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性光纤 微位移 面阵成像 圆心坐标 组合部件 二维 准光 成像器件 标准具 圆环 光源 和面 测量 发明测量装置 同心圆 坐标轴方向 准确度 光束处理 器件移动 滤光片 输出端 同圆心 出射 共轴 物镜 相减 成像 紧凑 | ||
【主权项】：
1.一种用F‑P标准具测量二维微位移的装置，其特征在于：包括光源(1)、柔性光纤(2)和面阵成像器件(7)，光源(1)与柔性光纤(2)连接，柔性光纤(2)输出端前方布置面阵成像器件(7)，柔性光纤(2)和面阵成像器件(7)之间设置有准光组合部件(6)，通过准光组合部件(6)将柔性光纤(2)出射的光束处理成共轴同圆心的一系列同心圆(8)并成像到面阵成像器件(7)上；所述的准光组合部件(6)包括依次在柔性光纤(2)输出端前方布置的滤光片(3)、F‑P标准具(4)和物镜(5)，一种或多种单色光的光源(1)经过柔性光纤(2)射入准光组合部件(6)，准光组合部件(6)产生的输出光束为一系列汇聚的共轴圆锥光束到面阵成像器件(7)，并作为测量的基准光束，共轴圆锥光束的中心轴为准光组合部件(6)的光轴；所述的物镜(5)为中焦距或短焦距的物镜，中焦距或短焦距是指焦距f在20～150mm范围内；所述的面阵成像器件(7)的一个边与水平方向成45度角。
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