[发明专利]一种表面具有高致密纳米金刚石薄膜的工件及一种高致密纳米金刚石薄膜的制备方法

摘要

本发明提供了一种高致密纳米金刚石薄膜的制备方法，包括：将工件基体进行表面预处理，使其表面带正电或负电；将赖氨酸加入到水中，得到赖氨酸溶液，再向赖氨酸溶液中加入纳米金刚石粉，超声分散后得到纳米金刚石颗粒表面带正电或负电的纳米金刚石悬浊液；将经表面预处理后的工件基体浸入到与工件基体带相反电荷的纳米金刚石悬浊液中，超声震荡，使纳米金刚石颗粒吸附在工件基体表面；吸附完成后，取出工件基体，清洗并经氮气吹干后，采用化学气相沉积设备在工件基体上生长金刚石薄膜。该方法可实现在复杂工件上进行大面积纳米级厚度的高致密金刚石薄膜的制备，薄膜质量高，结合力强，且工艺简单，成本低，在纳米机电系统中具有广阔的应用前景。

主权项

1.一种高致密纳米金刚石薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：取工件基体，将所述工件基体进行表面预处理，使所述工件基体表面带正电或负电；将赖氨酸加入到水中，得到赖氨酸溶液，再向所述赖氨酸溶液中加入纳米金刚石粉，超声分散后得到纳米金刚石颗粒表面带正电或负电的纳米金刚石悬浊液；将经表面预处理后的工件基体浸入到与所述工件基体带相反电荷的纳米金刚石悬浊液中，超声震荡，使所述纳米金刚石悬浊液中的纳米金刚石颗粒吸附在所述工件基体表面；吸附完成后，取出所述工件基体，清洗并经氮气吹干后，采用化学气相沉积设备，在所述工件基体上生长金刚石薄膜。