[发明专利]静电驱动阶梯型微固支梁的驱动电压预测方法和系统有效
| 申请号： | 201710474699.9 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107346354B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 朱军华;苏伟;宋芳芳;黄钦文;恩云飞;刘人怀 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所 |
| 主分类号： | G06F30/20 | 分类号： | G06F30/20;G06F30/17;G06F111/10 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 冯右明 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种静电驱动阶梯型微固支梁的驱动电压预测方法和系统，其中方法，包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁与底部固定电极之间的间隙模型、阶梯型微固支梁在静电力作用下发生变形的试函数模型和阶梯型微固支梁的结构参数；根据阶梯型微固支梁与底部固定电极之间的间隙模型和阶梯型微固支梁在静电力作用下发生变形的试函数模型，确定阶梯型微固支梁发生吸合时的临界试函数系数；根据阶梯型微固支梁的结构参数和试临界函数系数，计算阶梯型微固支梁的驱动电压。本发明中采用的建模方法简单、计算量小，可以快速完成复杂结构的吸合电压预测，并且预测结果准确度高。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 驱动 阶梯 型微固支梁 电压 预测 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种静电驱动阶梯型微固支梁的驱动电压预测方法，其特征在于，包括以下步骤：获取阶梯型微固支梁与底部固定电极之间的间隙模型、阶梯型微固支梁在静电力作用下发生变形的试函数模型和阶梯型微固支梁的结构参数；根据阶梯型微固支梁与底部固定电极之间的间隙模型和所述阶梯型微固支梁在静电力作用下发生变形的试函数模型，确定阶梯型微固支梁发生吸合时的临界试函数系数；根据所述阶梯型微固支梁的结构参数和所述试临界函数系数，计算阶梯型微固支梁的驱动电压。
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