[发明专利]探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201710475946.7 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN107526018B9 | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 齐藤祐贵;深见美行;清藤英博 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 杨宏军;李文屿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种被控制为所希望温度而使温度分布均匀化的探针卡、使用该探针卡的检查装置及检查方法。探针卡(1)包括：支承基板(3)；包含布线(2)而设于支承基板(3)的主面(8)的布线层(4)；配置在布线层(4)的与支承基板(3)侧相反一侧的面(11)并与布线(2)连接的探针(5)；多个加热器(6)。在探针卡(1)中，通过俯视下纵横排列的多个加热器区域(10)被假想地分割为加热器区域，各个加热器区域(10)分别配置有多个加热器(6)中的至少一个。使用探针卡(1)构成检查装置，使用该检查装置进行被检查体的检查。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 使用 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种探针卡，包括：支承基板；布线层，其包含布线而设置于所述支承基板的一个面；探针，其配置在所述布线层的与所述支承基板侧相反一侧的面，并与所述布线连接；多个加热器区域，在俯视下被假想地分割，所述多个加热器区域纵横排列；以及多个第一加热器，在所述加热器区域的各个加热器区域分别配置有多个第一加热器中的至少一个第一加热器。
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