[发明专利]半导体装置结构在审

专利信息
申请号: 201710480724.4 申请日: 2017-06-22
公开(公告)号: CN108122972A 公开(公告)日: 2018-06-05
发明(设计)人: 萧锦涛;曾健庭;杨超源;许义明;郑存甫;王薏涵 申请(专利权)人: 台湾积体电路制造股份有限公司
主分类号: H01L29/775 分类号: H01L29/775
代理公司: 隆天知识产权代理有限公司 72003 代理人: 冯志云;王芝艳
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 本公开实施例提供半导体装置结构。半导体装置结构包含介电层。半导体装置结构亦包含栅极堆叠结构于介电层中。半导体装置结构更包含半导体线,且栅极堆叠结构围绕部分的半导体线。此外,半导体装置结构包含接点电极于介电层中,且接点电极电性连接至半导体线。接点电极与栅极堆叠结构自半导体线朝相反方向延伸。
搜索关键词: 半导体装置结构 半导体线 栅极堆叠结构 接点电极 介电层 电性连接 方向延伸
【主权项】:
一种半导体装置结构,包括:一第一介电层;一栅极堆叠结构,位于该第一介电层中;一半导体线,且该栅极堆叠结构围绕部分的该半导体线;以及一接点电极,位于该第一介电层中并电性连接至该半导体线,其中该接点电极与该栅极堆叠结构自该半导体线朝相反方向延伸。
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