[发明专利]正型感光性树脂组合物及其应用在审
申请号: | 201710480756.4 | 申请日: | 2017-06-22 |
公开(公告)号: | CN107544209A | 公开(公告)日: | 2018-01-05 |
发明(设计)人: | 刘骐铭;施俊安 | 申请(专利权)人: | 奇美实业股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;G03F7/008;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司11006 | 代理人: | 徐金国 |
地址: | 中国台湾台南*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本发明有关于一种正型感光性树脂组合物及其应用。此正型感光性树脂组合物包含酚醛清漆树脂(A)、邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)及溶剂(C)。邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)包含分别由不同的羟基化合物所形成的邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B‑1)及邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B‑2)。所制得的正型感光性树脂组合物具有较佳的解析度及残膜率。 | ||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 及其 应用 | ||
【主权项】:
一种正型感光性树脂组合物,其特征在于,该正型感光性树脂组合物包含:酚醛清漆树脂(A);邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B);以及溶剂(C),且其中该邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B)包含由下式(I)所示的化合物所形成的邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B‑1)及由下式(II)所示的化合物所形成的邻萘醌二叠氮磺酸类的酯化物(B‑2):于式(I)中,R1、R2、R3及R4分别独立地代表碳数为2至9的烷基;于式(II)中,R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11及R12分别独立地代表氢原子、卤素原子、碳数为1至6的烷基、碳数为1至6的烷氧基、或环烷基;R13、R14及R15分别独立地代表氢原子或碳数为1至6的烷基;Q代表氢原子、碳数为1至6的烷基或与R13键结且碳数为3至6的环状结构;a及b分别独立地代表1至3的整数;d代表0至3的整数;且n代表0至3的整数。
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