[发明专利]微机电系统装置、压电致动器、以及超声波电机在审
| 申请号： | 201710481252.4 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107546320A | 公开（公告）日： | 2018-01-05 |
| 发明（设计）人： | 山田大介;平井荣树;小西晃雄 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/047 | 分类号： | H01L41/047;H01L41/083;H01L41/277;B81B7/02;B81C1/00;H02N2/10 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,格日乐 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种电压下降等得到抑制的输出较高的MEMS装置、压电致动器、以及超声波电机。MEMS装置的特征在于，从基板(24)的第一面(39)侧起依次层叠了第一电极层(28)、压电体层(29)、以及第二电极层(30)而构成，在基板(24)的与第一面(39)相反的一侧的第二面(40)上层叠有第一配线层(28)，第一电极层(28)与第一配线层(34)经由贯穿基板(24)的贯穿配线(37)而被连接。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 系统 装置 压电 致动器 以及 超声波 电机 | ||
【主权项】：
一种微机电系统装置，其特征在于，从基板的第一面侧起依次层叠了第一电极层、压电体层以及第二电极层而构成，在所述基板的与所述第一面相反的一侧的第二面上层叠有第一配线层，所述第一电极层与所述第一配线层经由贯穿所述基板的贯穿配线而被连接。
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