[发明专利]一种核壳结构n-二氧化钛@p-钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法

摘要

本发明涉及一种核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜及其制备方法，先将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO₃靶和TiO₂靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空再通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO₃靶预溅射5～15min；将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO₃靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO₃有序纳米晶薄膜；调节CoTiO₃有序纳米晶薄膜和TiO₂靶材相互平行，TiO₂靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜。本发明可有效地调控薄膜的形貌，成膜性好，操作方便，生产周期短，效率高，适于工业生产。

主权项

1.一种核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)将干净的基片安装在磁控溅射仪的样品台，将CoTiO3靶和TiO2靶分别安装在磁控溅射仪的两个射频靶位上；(2)对磁控溅射仪的溅射镀膜室抽真空，当真空度达到1.0×10‑4Pa～9.9×10‑4Pa时，向溅射镀膜室通入惰性气体，并使溅射镀膜室的气体压强保持在0.1Pa～2Pa；CoTiO3靶预溅射5～15min；(3)将基片升温至300℃～600℃并保温，CoTiO3靶开始溅射30min～90min，得到CoTiO3有序纳米晶薄膜；(4)调节CoTiO3有序纳米晶薄膜和TiO2靶材相互平行，TiO2靶材溅射10s～120s，得到核壳结构n‑二氧化钛@p‑钛酸钴纳米晶薄膜；步骤(1)中CoTiO3靶溅射的法线方向与基片法线的夹角为0°～90°；步骤(1)中CoTiO3靶和基片的距离在1cm～7cm；步骤(2)和步骤(3)中CoTiO3靶的靶电源功率均为100W～400W；步骤(4)中溅射之前，调节TiO2靶材和基片之间的距离为3～7cm；步骤(4)中TiO2靶材的靶电源功率为50W～200W。