[发明专利]通过使用耦合环内的电极来控制边缘区域中的离子的方向性的系统和方法有效
| 申请号： | 201710482522.3 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107527785B | 公开（公告）日： | 2020-02-28 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·C·凯洛格;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;约翰·帕特里克·霍兰德;陈志刚;菲力克斯·科扎克维奇;肯尼思·卢凯西 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及通过使用耦合环内的电极来控制边缘区域中的离子的方向性的系统和方法。描述了用于控制等离子体室内的边缘区域处的离子通量的方向性的系统和方法。系统中的一种包括：被配置为产生RF信号的射频(RF)发生器、耦合到RF发生器的用于接收RF信号以产生经修改的RF信号的阻抗匹配电路、以及等离子体室。等离子体室包括边缘环和耦合环，耦合环位于边缘环下方并且耦合到第一阻抗匹配电路以接收经修改的RF信号。耦合环包括电极，电极在电极和边缘环之间产生电容，以在接收到经修改的RF信号时控制离子通量的方向性。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 使用 耦合 电极 控制 边缘 区域 中的 离子 方向性 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于控制等离子体室内的边缘区域处的离子通量的方向性的系统，其包括：第一射频(RF)发生器，其被配置为产生第一RF信号；第一阻抗匹配电路，其耦合到所述第一RF发生器，用于接收所述第一RF信号以产生第一经修改的RF信号；以及等离子体室，其包括：边缘环；以及耦合环，其位于所述边缘环下方并且耦合到所述第一阻抗匹配电路以接收所述第一经修改的RF信号，其中所述耦合环包括电极，所述电极被配置为在所述电极和所述边缘环之间产生电容以在接收到所述第一经修改的RF信号时控制所述离子通量的所述方向性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于朗姆研究公司，未经朗姆研究公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710482522.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：等离子体处理装置
- 下一篇：一种大功率惰性气体电光源
