[发明专利]一种氟代苯乙烯单体、含氟共聚物及在248nm深紫外光刻胶中的应用在审
| 申请号： | 201710483169.0 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107325218A | 公开（公告）日： | 2017-11-07 |
| 发明（设计）人： | 穆启道;郑祥飞;纪昌炜 | 申请（专利权）人： | 苏州瑞红电子化学品有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/14 | 分类号： | C08F212/14;C08F220/18;G03F7/004 |
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| 地址： | 215124 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种氟代苯乙烯单体、含氟共聚物及在248nm深紫外光刻胶中的应用。用氟代苯乙烯单体跟其他单体自由基共聚得到含氟共聚物，并制备248nm深紫外光刻胶。本发明所涉及的含氟共聚物所用单体结构如下所示，其中R1为羟基或乙酰氧基，R2‑R6为H或F，且R2‑R6不同时为H，R7和R9为H或‑CH3，R8为酸敏结构单元，R10为多脂肪环类取代基结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 苯乙烯 单体 共聚物 248 nm 深紫 光刻 中的 应用 | ||
【主权项】：
一种含氟代苯乙烯单元结构的共聚物，其特征在于可以是三元共聚物或者四元共聚物，分子结构如下所示：
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