[发明专利]一种扭摆式叉指微机电磁场传感器有效
| 申请号： | 201710483769.7 | 申请日： | 2017-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN107356889B | 公开（公告）日： | 2019-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈洁;惠肇宇 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01R33/06 | 分类号： | G01R33/06;G01R33/028 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210000 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于测量磁场方向的微机电系统磁场传感器，包括从下向上依次叠加设置的玻璃衬底，深掺杂硅层，掺杂硅层的中部为扭转叉指结构，扭转叉指结构的正对位置设置有静态叉指结构。静态叉指结构的两端设有锚区，中间扭转可动叉指的的支撑梁的两端都设有锚区；静态叉指与中间扭转叉指形成第一电容和第二电容。该磁场传感器结构简单，可以实现磁场方向以及幅度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扭摆 式叉指 微机 电磁场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种扭摆式叉指微机电磁场传感器，其特征在于，所述磁场传感器包括衬底(1)、锚区组件(2)和硅掺杂层(3)，锚区(2)生长在衬底(1)上，硅掺杂层(3)与锚区组件(2)固定连接；锚区组件(2)包括第一锚区(4)、第二锚区(5)、第三锚区(6)、第四锚区(7)、第五锚区(8)、第六锚区(9)、第七锚区(10)和第八锚区(11)，衬底(1)上部设有空腔；硅掺杂层(3)包括第一动态支撑梁(12)、第二动态支撑梁(13)、扭摆粱(16)、第一静态支撑梁(17)、第二静态支撑梁(18)；第一动态支撑梁(12)两端分别与第五锚区(8)和第七锚区(10)固定连接，第一动态支撑梁(12)处于悬空状态；第二动态支撑梁(13)两端分别与第六锚区(9)和第八锚区(11)固定连接，第二动态支撑梁(13)处于悬空状态，第一动态支撑梁(12)和第二动态支撑梁(13)平行布设；扭摆粱(16)的一端通过第一内支撑梁(14)与第一动态支撑梁(12)连接，扭摆粱(16)的另一端通过第二内支撑梁(15)与第二动态支撑梁(13)连接，扭摆梁(16)、第一内支撑梁(14)、第二内支撑梁(15)均处于悬空状态；扭转梁(16)相对两侧设有延伸的第一叉指结构和第二叉指结构；第一静态支撑梁(17)两端分别与第一锚区(4)和第二锚区(5)连接，第一静态支撑梁(17)处于悬空状态；第二静态支撑梁(18)两端分别与第三锚区(6)和第四锚区(7)连接，第二静态支撑梁(18)处于悬空状态；第一静态支撑梁(17)上设有延伸的第三叉指结构；第二静态支撑梁(18)上设有延伸的第四叉指结构；所述的第一叉指结构和第三叉指结构相适配，构成第一电容(19)；所述的第二叉指结构和第四叉指结构相适配，形成第二电容(20)。
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