[发明专利]用于去除氧化物的清洗组合物及使用该清洗组合物的清洗方法有效
申请号: | 201710484202.1 | 申请日: | 2017-06-23 |
公开(公告)号: | CN107541735B | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | 任星淳;黃圭焕;文英慜;文敏浩;孔仁浩;金昌燮;金昊泰;陈宰焕;黄东旭 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23G1/02 | 分类号: | C23G1/02;C23C14/04 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人: | 王达佐;洪欣 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开内容涉及用于去除氧化物的清洗组合物和使用该清洗组合物的清洗方法,所述清洗组合物包括选自有机酸和无机酸的至少一种酸;选自有机盐和无机盐的至少一种盐;氧化剂;表面活性剂;以及水。 | ||
搜索关键词: | 用于 去除 氧化物 清洗 组合 使用 方法 | ||
【主权项】:
用于去除氧化物的清洗组合物,其包含:选自有机酸和无机酸的至少一种酸;选自有机盐和无机盐的至少一种盐;氧化剂;表面活性剂;以及水。
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