[发明专利]一种力传感器、感测管芯组装件及制造力传感器的方法有效
| 申请号： | 201710485310.0 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107543639B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | R.沃德;A.D.布拉德利 | 申请（专利权）人： | 霍尼韦尔国际公司 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 徐红燕;蒋骏 |
| 地址： | 美国新*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及低成本小力传感器。本文中公开的是包括感测管芯组装件的力传感器，以及用于制造所述感测管芯组装件和所述力传感器的方法。所公开的感测管芯组装件、力传感器和方法利用晶片级保持来将致动元件维持在感测管芯的空腔中。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传感器 管芯 组装 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种力传感器（100或200），包括：衬底（110）；具有顶面（121）和底面（123）的感测管芯（120），其中所述感测管芯（120）包括形成于其中的空腔（124）和隔膜（122），以及位于所述隔膜（122）的底面（127）上的一个或多个感测元件（160），其中所述感测管芯（120）的底面（123）被倒装键合到所述衬底（110）；致动元件（130或230），其被安置在所述感测管芯（120）的所述空腔（124）中并且与所述隔膜（122）的顶面（125）和所述空腔（124）的壁（126）接触；以及位于所述感测管芯（120）的顶面（121）上的盖构件（140），其中所述盖构件（140）包括位于所述感测管芯（120）的所述空腔（124）之上的开口（146），其中所述致动元件（130或230）的部分（132或232）延伸穿过所述开口（146），其中所述盖构件（140）将所述致动元件（130或230）维持在所述空腔（124）内，其中所述盖构件（140）是生长在所述感测管芯（120）的顶面（121）上的硅或氧化硅层。
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