[发明专利]一种精确采集束流电路在审
| 申请号： | 201710485725.8 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN109116403A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 孙腾 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01T1/29 | 分类号： | G01T1/29 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司 43113 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种束流采集和校准的技术领域，涉及离子注入机，属于半导体制造领域。一种精确采集束流电路，包括恒流源单元(1)、束流采集与量程切换单元(2)、运算放大单元(3)、AD转换单元(4)、单片机控制器(5)。此系统可以精确采集离子注入机微弱的束流信号。说明书对本硬件电路进行了详细的说明，并给出具体实施方案。 | ||
| 搜索关键词： | 束流 采集 离子注入机 电路 半导体制造领域 单片机控制器 运算放大单元 恒流源单元 量程切换 束流信号 硬件电路 此系统 校准 | ||
【主权项】：
1.一种精确采集束流电路，主要包括：恒流源单元(1)、束流采集与量程切换单元(2)、运算放大单元(3)、AD转换单元(4)、单片机控制器(5)，工作流程：首先是束流采集与量程切换单元(2)采集恒流源单元(1)信号，通过运算放大单元(3)和AD转换单元(4)将数据发送给单片机控制器(5)，在通过分析对比采集数据与恒流源对应的标准数据的差异来调节运算放大单元(3)的失调电压，对束流采集电路进行校准，调节完成后在进行测试，直到误差小于0.5％为止，校准完成后束流采集与量程切换单元(2)采集离子注入机的束流信号，信号经过运算放大单元(3)转化为电压信号，在经过AD转换单元(4)将数据发送给控制器(5)对数据进行分析并控制束流与量程切换采集单元(2)选择合适量程进行数据采集工作。
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