[发明专利]多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂及其制备方法

摘要

本发明涉及粘结剂技术领域，具体公开一种多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂及其制备方法。所述多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂，包括质量百分比如下的原料组分：水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物10%‑20%；硅溶胶10%‑20%；增塑剂1%‑5%；消泡剂0.05%‑0.3%；pH缓冲液0.01%‑0.05%；杀菌剂0.03%‑0.3%；高纯水70%‑85%。本发明提供的多晶硅铸锭高纯石英坩埚石英砂涂层粘结剂，纯度高，是一种全新的高纯石英砂涂层粘结及分散材料，提高了高纯石英砂涂层的致密性，同时能使高纯石英砂涂层更好地附着氮化硅涂层，减少了硅锭的侧边红区，降低硅锭氧含量。

主权项

1.一种多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂的制备方法，其特征在于：所述粘结剂包括质量百分比如下的原料组分：上述所有组分之和为100％，所述水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物为硅氧烷改性聚乙烯醇、硅氧烷改性聚乙烯吡咯烷酮、羧基改性聚乙烯醇中至少一种，所述硅溶胶为高纯度硅溶胶；所述高纯度硅溶胶金属离子含量＜1ppm，所述粘结剂的制备方法，包括以下步骤：(1)按照所述的原料配比称取各原料组分；(2)将水溶性硅氧烷或羧基改性聚合物、硅溶胶、增塑剂、消泡剂、杀菌剂加入到高纯水中，进行混料处理，得第一混合物料；(3)在30‑80℃下，将所述第一混合物料过交换树脂，除去金属离子，得第二混合物料；(4)将pH缓冲液加入到所述第二混合物料，进行混料处理，调节pH值至5‑9，得到多晶硅铸锭石英坩埚高纯石英砂涂层粘结剂。