[发明专利]一种热探测器及其制备方法有效
| 申请号： | 201710488564.8 | 申请日： | 2017-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN107340063B | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 易飞;李君宇;谈小超;杨奥;郭颂;周仑;蒋顺;侯铭铭 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20;H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 廖盈春;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种热探测器及其制备方法，该热探测器包括从上之下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、钝化层以及热敏电阻层，微结构阵列结构对入射光进行筛选并吸收具有窄带光谱的红外光，具有窄带光谱的红外光在谐振腔内谐振，经由金属层将携带有窄带光谱的红外光转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号，热敏电阻层将携带有窄带光谱的红外光的强度的热信号转化为携带有窄带光谱的红外光的强度的电阻信号，通过解调携带窄带光谱的红外光的强度信息的阻值信息获得窄带光谱的红外光强度信息。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探测器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种热探测器，其特征在于，包括：从上至下依次排列的微结构阵列、介质层、金属层、第一钝化层以及热敏电阻层，所述微结构阵列、所述介质层以及所述金属层构成光学谐振腔；/n所述微结构阵列用于对入射红外光进行波长筛选并吸收具有窄带光谱的红外光；所述微结构阵列的材料为金属；所述微结构阵列为多个呈阵列排列的双梯形结构以获得偏振无关的响应特性，或者所述微结构阵列为多个呈阵列排列的条状结构，以获得偏振相关的响应特性；/n所述金属层用于将具有窄带光谱的红外光转化为携带所述窄带光谱的红外光强度信息的热信号；/n所述第一钝化层用于实现所述金属层与所述热敏电阻层电气隔离；/n所述热敏电阻层用于将携带所述窄带光谱的红外光强度信息的热信号转化为携带所述窄带光谱的红外光强度信息的阻值信息；/n通过解调携带所述窄带光谱的红外光强度信息的阻值信息获得所述窄带光谱的红外光强度信息，所述窄带光谱的红外光是指光谱范围为几百纳米内的红外光；/n所述热探测器为非制冷型热探测器。/n
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