[发明专利]一种激光退火机的状态监控方法有效
| 申请号： | 201710490560.3 | 申请日： | 2017-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN107255571A | 公开（公告）日： | 2017-10-17 |
| 发明（设计）人： | 许云兰;陈传辉;陈传伟 | 申请（专利权）人： | 苏州金钜松机电有限公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种激光退火机的状态监控方法，包括以下步骤：测量激光退火机上监控片的颗粒水平获得颗粒测量前值；采用第一激光扫描监控片；测量监控片的颗粒水平获得颗粒测量后值；对比颗粒测量前值和颗粒测量后值以判断退火机机台内部的洁净度；采用快速热退火的方法对监控片进行退火；在监控片上注入过硼；采用第二激光扫描监控片；测量监控片获得方块电阻阻值的测量值；通过对比方块电阻阻值和预设值的差，来判断激光温度的稳定性是否合格。本发明能够在同一监控片上进行颗粒水平测量和方块电阻阻值测量，以判断激光退火机的机台内部的洁净度和激光温度的稳定性是否合格，减少了监控片的使用，在不影响监控效果的前提下，节约制造成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 退火 状态 监控 方法 | ||
【主权项】：
一种激光退火机的状态监控方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：测量激光退火机上监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量前值；步骤二：采用第一激光扫描所述监控片；步骤三：测量所述监控片的颗粒水平，从而获得颗粒测量后值；步骤四：对比颗粒测量前值和颗粒测量后值，以判断退火机机台内部的洁净度；步骤五：采用快速热退火的方法对所述监控片进行退火；步骤六：在所述监控片上注入过硼；步骤七：采用第二激光扫描所述监控片；步骤八：测量所述监控片的方块电阻阻值，获得方块电阻阻值的测量值；步骤九：通过对比所述方块电阻阻值和预设值的差，来判断所述激光退火机的激光温度的稳定性是否合格。
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