[发明专利]调整悬臂探针卡针迹的方法在审
| 申请号： | 201710493534.6 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107368100A | 公开（公告）日： | 2017-11-21 |
| 发明（设计）人： | 王玉龙;叶建明;凌俭波;熊忠应;王锦 | 申请（专利权）人： | 上海华岭集成电路技术股份有限公司 |
| 主分类号： | G05D3/12 | 分类号： | G05D3/12;G01R3/00 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司31001 | 代理人： | 吴宝根,徐颖 |
| 地址： | 201203 上海市浦东新区中国(*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。网格固定装置来替换悬臂探针卡的环氧树脂部分，来达到精确调整针迹的目的，降低了操作的难度性，节省了时间和成本，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 悬臂 探针 卡针迹 方法 | ||
【主权项】：
一种调整悬臂探针卡针迹的方法，探针尾部通过铜线与探针卡板焊点焊接在一起，探针卡板焊点和测试机的通道资源相连，针尖与晶圆芯片上的管脚接触进行测试，其特征在于，绝缘网格固定装置与探针卡板固定，针臂上有一凸出矩形，将矩形切入网格固定装置中的网格中，以此来固定探针；当需要调整针迹时，打开网格固定装置上面的盖板，根据探针台给出的实际扎出的针迹来判断调整方向，借助放大镜，记住原来的网格具体位置，然后将网格固定装置中网格往需要调整的方向调整，调整到位后，再将针臂上矩形切入到调整后的网格里，重新盖上盖板，完成调整。
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