[发明专利]一种MEMS压力传感器在审
| 申请号： | 201710494310.7 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN109115391A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 缪建民 | 申请（专利权）人： | 上海微联传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种MEMS压力传感器，包括基板和传感器芯片；所述基板与所述传感器芯片电连接；所述传感器芯片用于探测作用在所述传感器芯片上的压力值大小；所述传感器芯片和/或所述基板相对的一侧形成至少一个凸起。本发明实施例提供一种MEMS压力传感器，以实现提高MEMS压力传感器的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器芯片 基板 基板相对 电连接 凸起 探测 测量 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括基板和传感器芯片；所述基板与所述传感器芯片电连接；所述传感器芯片用于探测作用在所述传感器芯片上的压力值大小；所述传感器芯片和/或所述基板相对的一侧形成至少一个凸起。
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