[发明专利]一种三通道电压反馈式VDMOS器件单粒子效应高精度检测装置

摘要

本发明公开了一种三通道电压反馈式VDMOS器件单粒子效应高精度检测装置，包括主控模块、通信模块、数据采集模块、电源模块、矩阵开关模块、试验子板群模块；本发明兼具数据采集记录和图像显示功能，能够有效、直观检测垂直双扩散金属‑氧化物半导体场效应晶体管单粒子栅穿与单粒子烧毁现象，同时结合非结构化数据保存功能，提供足量数据进行试验分析。试验子板群兼容各类封装形式试验器件，且系统具有多通道巡检功能，可实现三只器件同步开展试验，缩减试验成本。本发明系统组成简单，通用性强、检测精度高，具有工程化特点。

主权项

一种三通道电压反馈式VDMOS器件单粒子效应高精度检测装置，其特征在于：包括主控模块，通信协议模块、数据采集模块、电源模块、矩阵开关模块、试验子板群模块；主控模块发送电源控制指令、通道选择指令至通信协议模块，接收数据采集模块发送的VDMOS器件的栅源电流、漏源电流信息、实际工作电压信息，并对VDMOS器件的实际工作电压信息、栅源电流、漏源电流信息进行存储和实时数据显示；通信协议模块将主控模块发送的电源控制指令、通道选择指令分别发送至电源模块、矩阵开关模块；矩阵开关模块接收通信协议模块发送的通道选择指令，控制矩阵开关中相应的通道闭合，将电压信号传递至试验子板群模块，控制试验子板群模块中VDMOS器件处于栅偏或漏偏状态；电源模块接收通信协议模块发送的电源控制指令，根据主控模块中的设定电压值输出相应的电压信号至矩阵开关模块；电源模块采集试验子板群模块中各VDMOS器件的实际工作电压，并将各VDMOS器件的实际工作电压信息反馈至数据采集模块；数据采集模块采集试验子板群模块中各VDMOS器件的栅源电流、漏源电流信息、实际工作电压信息发送至主控模块；试验子板群模块搭载VDMOS器件，为VDMOS器件提供电压。