[发明专利]硼铝硅酸盐玻璃及其制备方法

摘要

本发明涉及一种硼铝硅酸盐玻璃及其制备方法。一种硼铝硅酸盐玻璃，以下述氧化物基准的质量百分含量表示包括61.0％～85.0％的SiO2、2.5％～17.5％的Al2O3、2％～20.5％的B2O3、0.01％～4.5％的Li2O、0.01％～4.0％的Na2O及0.01％～2.0％的K2O；硼铝硅酸盐玻璃的键合因子δ的取值为0.05～0.45，所述键合因子δ的计算公式为：δ＝μLi*MLi+μNa*MNa+μK*MK；其中，μLi＝(1/rLi)2，μNa＝(1/rNa)2，μK＝(1/rK)2；MLi＝100*WLi/MrLi，MNa＝100*WNa/MrNa，MK＝100*WK/MrK；rLi、rNa和rK分别对应Li、Na和K的离子半径，WLi、WNa和WK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的质量百分含量，MrLi、MrNa和MrK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的相对分子质量。上述硼铝硅酸盐玻璃体系有利于达到在低温低压下的快速阳极键合，且有利于提高硼铝硅酸盐玻璃与硅片之间的键合拉力。

主权项

1.一种硼铝硅酸盐玻璃，其特征在于，以下述氧化物基准的质量百分含量表示，包括：所述硼铝硅酸盐玻璃的键合因子δ的取值为0.05～0.45；所述键合因子δ的计算公式为：δ＝μLi*MLi+μNa*MNa+μK*MK；其中，μLi＝(1/rLi)2，μNa＝(1/rNa)2，μK＝(1/rK)2；MLi＝100*WLi/MrLi，MNa＝100*WNa/MrNa，MK＝100*WK/MrK；rLi、rNa和rK分别对应Li、Na和K的离子半径，WLi、WNa和WK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的质量百分含量，MrLi、MrNa和MrK分别对应所述硼铝硅酸盐玻璃中Li2O、Na2O和K2O的相对分子质量。