[发明专利]照明单元、缺陷检查装置及照明方法

摘要

本发明提供一种照明单元、缺陷检查装置及照明方法，即使检查对象物是存在光泽不均的物品，也可以适当进行色彩缺陷或凹凸缺陷的检查。照明单元包括第1照明部、第2照明部及第3照明部。第1照明部从第1方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第2照明部从第2方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第3照明部从第3方向发出照射至安置在检查位置上的检查对象物的照明光。第1方向、第2方向及第3方向是各不相同的方向。第2照明部或第3照明部中的一者发出与第1照明部颜色相同的照明光。第1方向是如下的方向，即，使由第1照明部照射，并经检查对象物反射的正反射光的光轴与相机的光轴相吻合。

主权项

一种照明单元，在利用相机对安置在检查位置上的检查对象物进行拍摄时，对所述检查对象物照射照明光，所述照明单元的特征在于包括：第1照明部，从第1方向，发出照射至安置在所述检查位置上的所述检查对象物的照明光；第2照明部，从与所述第1方向不同的第2方向，发出照射至安置在所述检查位置上的所述检查对象物的照明光；以及第3照明部，从与所述第1方向及所述第2方向不同的第3方向，发出照射至安置在所述检查位置上的所述检查对象物的照明光；并且所述第2照明部或所述第3照明部中的至少一者发出与所述第1照明部所照射的照明光颜色相同的照明光，所述第1方向是使由所述第1照明部照射至所述检查对象物的照明光、经所述检查对象物反射的正反射光的光轴与所述相机的光轴相吻合的方向。