[发明专利]渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片有效
| 申请号： | 201710498955.8 | 申请日： | 2017-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN107132604B | 公开（公告）日： | 2020-01-14 |
| 发明（设计）人： | 卫耀伟;刘浩;蔡清元;王震;潘峰;张哲;刘志超;吴倩;罗晋;欧阳升 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G02B5/28 | 分类号： | G02B5/28 |
| 代理公司： | 11371 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 王宁宁 |
| 地址： | 610000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种渐变折射率薄膜制备参数获取方法、制备方法及滤光片，属于薄膜制备工艺技术领域。所述制备参数获取方法包括：获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系；根据所述基准对应关系以及所述制备数据，得到所述渐变折射率薄膜的制备参数。通过本方法有利于较准确地得到待制备的渐变折射率薄膜的制备参数，从而制备出性能更符合需求的渐变折射率薄膜以及滤光片。 | ||
| 搜索关键词： | 渐变 折射率 薄膜 制备 参数 获取 方法 滤光 | ||
【主权项】：
1.一种渐变折射率薄膜的制备参数获取方法，其特征在于，所述方法包括：/n获取待制备的渐变折射率薄膜的制备数据，其中，所述制备数据包括所述渐变折射率薄膜的每个膜层的折射率和膜层厚度；/n获取基准对应关系，所述基准对应关系为混合膜层的折射率与膜层浓度之间的关系，其中，所述混合膜层包括第一子膜层和第二子膜层，所述第一子膜层对应的第一膜层材料的第一折射率大于所述第二子膜层对应的第二膜层材料的第二折射率，所述膜层浓度为所述混合膜层中所述第一子膜层的膜层浓度或所述第二子膜层的膜层浓度；/n根据所述第一折射率、所述第二折射率以及每个所述膜层的折射率判断该膜层的膜层属性；/n当所述膜层为所述混合膜层时，根据所述基准对应关系以及所述膜层的折射率，得到该膜层的膜层浓度，根据第二预设模型、所得到的膜层浓度以及所述膜层的膜层厚度，分别得到所述膜层包括的所述第一子膜层和所述第二子膜层的沉积厚度。/n
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