[发明专利]红外传感器结构及其制备方法、探测系统有效
| 申请号： | 201710499382.0 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN107367330B | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 康晓旭;蒋宾 | 申请（专利权）人： | 上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | G01J5/00 | 分类号： | G01J5/00 |
| 代理公司： | 31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人： | 吴世华;陈慧弘<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 201210 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多频段输出的红外传感器结构，具有多个探测单元，每个探测单元具有传感结构，每个所述传感结构的顶部设置有频谱过滤结构，用于入射光的选择性透过，从而实现每个探测单元对入射光的选择性吸收；多个探测单元中至少一部分探测单元的频谱过滤结构所选择性透过的入射光波长不相同。本发明针对每一个探测单元利用不同的频谱过滤结构过滤掉不需要的入射光，从而选择性透过所需入射光，由于不同的频谱过滤结构，使得探测单元所探测的入射光波长不相同，从而实现了对不同波段的红外入射光进行有效有针对性的探测，提高探测的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 红外传感器 结构 及其 制备 方法 探测 系统 | ||
【主权项】：
1.一种多频段输出的红外传感器结构，具有多个探测单元，每个探测单元具有传感结构，其特征在于，每个所述传感结构的顶部设置有频谱过滤结构，用于入射光的选择性透过，从而实现每个探测单元对入射光的选择性吸收；多个探测单元中至少一部分探测单元的频谱过滤结构所选择性透过的入射光波长不相同；/n其中，每个探测单元具有谐振腔，传感结构设置于谐振腔上方；在传感结构底部还设置有第一底部介质层；第一底部介质层作为谐振腔的顶部；第一底部介质层的厚度d1由以下式子表示：d1＝(λ/4-d)/n1，其中，n1为第一底部介质层的折射率，d为顶部介质层的厚度；或者/n每个探测单元具有谐振腔，传感结构设置于谐振腔上方；在谐振腔底部设置有第二底部介质层；第二底部介质层作为谐振腔的底部；第二底部介质层的厚度d2由以下式子表示：d2＝(λ/4-d)/(n2-1)，n2为第二底部介质层的折射率，d为顶部介质层的厚度；或者/n每个探测单元具有谐振腔，传感结构设置于谐振腔上方；在传感结构底部还设置有第一底部介质层，并且在谐振腔底部设置有第二底部介质层；第一底部介质层作为谐振腔的顶部，并且第二底部介质层作为谐振腔的底部；第一底部介质层作为谐振腔的顶部；第一底部介质层的厚度d1由以下式子表示：d1＝(λ/4-d-d2(n2-1))/n1，第二底部介质层的厚度d2由以下式子表示：d2＝(λ/4-d-d1n1)/(n2-1)，其中，n1为第一底部介质层的折射率，n2为第二底部介质层的折射率，d为顶部介质层的高度。/n
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