[发明专利]基板升降机构、基板载置台和基板处理装置

摘要

本发明提供即使在基板载置台的主体产生了变形时也能将升降销的高度位置控制在所期望的位置的基板升降机构、基板载置台和基板处理装置。在等离子体处理装置的处理容器内，设置在基板载置台(3)的载置台主体(5)的多个使基板升降的基板升降机构(8)包括：插通在基板载置台主体(5)的插通孔(5a)中、以相对于基板载置面突出和没入的方式可升降地设置、用其顶端支承基板的升降销(51)；在其内部可升降地支承升降销(51)且对升降销(51)进行引导的升降‑引导部(52)；和对升降销(51)进行升降驱动的驱动部(54)，升降‑引导部(52)和驱动部(54)由载置台主体(5)支承，且不由处理容器(底壁2a)支承。

主权项

一种基板升降机构，其在对基板进行等离子体处理的等离子体处理装置的处理容器内，在载置基板的基板载置台的载置台主体设置多个，使基板升降，所述基板升降机构的特征在于，包括：升降销，其插通在所述基板载置台主体的插通孔中，以相对于基板载置面突出和没入的方式可升降地设置，用其顶端支承基板；升降‑引导部，在其内部可升降地支承所述升降销，且对升降销进行引导；和驱动部，对所述升降销进行升降驱动，所述升降‑引导部和所述驱动部由所述载置台主体支承，且不由所述处理容器支承。