[发明专利]一种小尺寸红外传感器结构及其制备方法

摘要

本发明提供了一种小尺寸红外传感器结构及其制备方法，通过在导电梁区域刻蚀出沟槽，利用沟槽侧壁来形成导电梁，从而实现了相邻像元结构共同享有一个导电支撑孔的小尺寸红外传感器结构，从而提高了像元结构的集成度，增大了像元结构中红外探测区域的面积，提高了红外探测效率。

主权项

1.一种小尺寸红外传感器结构，具有多个像元结构，每个像元结构具有红外探测区域(S)、与红外探测区域(S)相电连的导电梁(L)、以及用于支撑导电梁(L)并与导电梁(L)电连接的导电支撑孔(Z)；其特征在于，相邻的所述像元结构(X1和X2)之间通过导电梁(L)共同连接至一个导电支撑孔(Z)；所共同连接至的一个所述导电支撑孔(Z)设置于相邻的所述红外探测区域(S)之间的下方；以所共同连接至的一个所述导电支撑孔(Z)的中心线为对称轴，相邻的所述像元结构(X1和X2)呈镜像对称；所述导电梁(L)与所述导电支撑孔(Z)的侧壁连续为同一层，所述导电梁(L)的层次结构和所述导电支撑孔(Z)的侧壁的层次结构相同；所述导电梁(L)中每一层的水平宽度小于所述支撑孔(Z)的顶部中相应层厚度；其中，通过在导电梁区域的牺牲层(105)中刻蚀出沟槽(106)，利用沟槽(106)侧壁来形成导电梁(L)，并通过控制沉积导电梁(L)中各个层的厚度，使各层水平方向上的竖直厚度大于在沟槽(106)侧壁的水平宽度，从而得到导电梁(L)中各层的厚度小于相应层的水平方向上的竖直厚度，实现导电梁(L)尺寸的进一步减小。