[发明专利]可在平面中移动的压电式微机电致动器设备有效
| 申请号： | 201710501989.8 | 申请日： | 2017-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN108249388B | 公开（公告）日： | 2023-08-11 |
| 发明（设计）人： | D·朱斯蒂;A·艾乐桑德利 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张昊 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及可在平面中移动的压电式微机电致动器设备。例如，一种形成在衬底(28)上的压电型MEMS致动器设备(100)，该压电型MEMS致动器设备具有包括基础梁元件(20)的基础单元(22A)，该基础梁元件具有在延伸平面中的主延伸以及在垂直于该延伸平面的厚度方向上的小于该主延伸的厚度。压电区(29)在该梁元件之上延伸。锚区(23)刚性连接至该基础梁元件以及至该衬底(28)。基础约束结构(21)连接至该基础梁元件(20)的一端并且被配置成用于允许该基础梁元件在该延伸平面中的变形并基本上减少该基础梁元件在该厚度方向上的变形。 | ||
| 搜索关键词： | 平面 移动 压电 式微 机电 致动器 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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