[发明专利]清洗装置、具有该清洗装置的镀覆装置及清洗方法

摘要

提供一种减少对衬底表面的抗蚀图案和/或布线等造成的影响且对衬底进行清洗的清洗装置、具有该清洗装置的镀覆装置及清洗方法。清洗装置具有：被处理物的入口；上述被处理物的出口；第1搬送路径，搬送从入口投入的被处理物；第2搬送路径，向与在第1搬送路径中搬送被处理物的方向相反的方向搬送被处理物，与第1搬送路径及上述出口相连；清洗单元，配置在第1搬送路径上，以非接触式对被处理物进行清洗；和干燥单元，配置在第1搬送路径上，以非接触式对被处理物进行干燥。第1搬送路径和第2搬送路径沿上下方向排列地配置。第2搬送路径位于第1搬送路径的上方，在终点与上述出口相连。第2搬送路径作为暂时地保管被处理物的储料器而发挥功能。

主权项

1.一种清洗装置，其特征在于，具有：被处理物的入口；所述被处理物的出口；第1搬送路径，其搬送从所述入口投入的所述被处理物；第2搬送路径，其向与在所述第1搬送路径中搬送所述被处理物的方向相反的方向搬送所述被处理物，且与所述第1搬送路径及所述出口相连；清洗单元，其配置在所述第1搬送路径上，且以非接触式对所述被处理物进行清洗；和干燥单元，其配置在所述第1搬送路径上，且以非接触式对所述被处理物进行干燥，所述第1搬送路径和所述第2搬送路径沿上下方向排列地配置，所述第2搬送路径位于所述第1搬送路径的上方，且在终点与所述出口相连，所述第2搬送路径作为暂时地保管所述被处理物的储料器而发挥功能。