[发明专利]一种氮氧化物气体传感器

摘要

本发明公开了一种氮氧传感器，氮氧传感器从上到下依次包含五层基片。在第二层基片上包含四个腔室依次为原始气体腔室、两个泵氧腔室和一个测量腔室，四个腔室之间分别通过扩散障层隔开。在第一层基片、第二、第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极。其中第二腔室上侧、第三腔室上侧的电极分别与第一基片上的电极构成第一、第二泵氧电极。第二腔室下侧电极为对电极。第四腔室含有一个测量电极。第三层基片中含有一个与大气相连的参考气体腔室。在第三基片和第四基片之间存在一个测量电极的参考电极。在第四基片下侧存在一个加热电极。本发明所提供的传感器，检测的浓度范围广，响应时间短，同时制作工艺简单。

主权项

本发明提供了一种新型的氮氧传感器，其特征在于：该传感器结构包括从上到下依次叠压的第一层基片、第二层基片、第三层基片、第四层基片、第五层基片；在第一层基片上存在一个电极；在第二层基片上包含了四个腔室：第一腔室为原始气体腔室，第二腔室和第三腔室为泵氧腔室，第四腔室为测量腔室；在第二腔室的上、下两侧，第三腔室的上、下两侧以及第四腔室的下侧分别存在一个电极；其中在第二腔室上侧的电极与第一基片上的电极构成了第一泵氧电极，第三腔室上侧的电极和第一基片上的电极构成了第二泵氧电极；第二腔室下侧的电极为对电极；在第四腔室的中含有一个测量电极；在第一腔室、第二腔室、第三腔室及第四腔室之间，分别通过扩散障层隔开；在第三基片中含有一个参考气体腔室，其与大气相连，作为参考气体通道；在第三基片和第四基片之间存在一个参考电极，作为测量电极的参考电极；在第四基片下侧存在一个加热电极；该传感器所有基片的材料都是氧化钇稳定氧化锆陶瓷，所有电极材料都是金属铂电极。