[发明专利]一种探测基板的制作方法、探测基板及X射线探测器

摘要

本发明提供了一种探测基板的制作方法、探测基板及X射线探测器，涉及光电技术领域。通过在衬底上通过构图工艺依次形成栅电极层、栅绝缘层、有源层，通过构图工艺形成源极和漏极，所述源极和所述漏极均部分覆盖所述有源层，所述源极和所述漏极均为金属层与金属氧化物层的复合层，所述金属层靠近所述有源层，依次形成第一钝化层、遮光层以及PIN光电二极管的I型层和P型层，所述I型层覆盖所述源极与所述漏极间的有源层。金属层与金属氧化物层的复合层作为薄膜晶体管的源极和漏极，金属氧化物层既可以作为金属层的保护层，同时可代替PIN光电二极管的重掺杂N型层，减少制作过程中的工艺流程，提高生产效率，降低生产成本。

主权项

1.一种探测基板的制作方法，其特征在于，包括：在衬底上通过构图工艺依次形成栅电极层、栅绝缘层、有源层；通过构图工艺形成源极和漏极，所述源极和所述漏极均部分覆盖所述有源层，所述源极和所述漏极均为金属层与金属氧化物层的复合层，所述金属层靠近所述有源层；依次形成第一钝化层、遮光层以及PIN光电二极管的I型层和P型层，所述I型层在所述有源层上的正投影覆盖所述源极与所述漏极间的有源层；所述第一钝化层部分覆盖所述金属氧化物层，所述遮光层形成在所述第一钝化层上，所述I型层覆盖所述第一钝化层、所述遮光层和所述金属氧化物层，所述P型层形成在所述I型层上；其中，所述通过构图工艺形成源极和漏极的步骤，包括：在溅射设备中通以氩气，以金属靶材作为溅射靶材，沉积金属层；通以氩气和氧气的混合气体，以所述金属靶材作为溅射靶材，在所述金属层上沉积金属氧化物层；所述金属层与所述金属氧化物层的材料分别为锌和氧化锌；通过构图工艺形成源极和漏极。