[发明专利]集成式超高精度单轴光学加速度计

摘要

本发明涉及一种集成式超高精度单轴光学加速度计，包括微纳光腔组件和激光探测组件，微纳光腔组件包括压电薄膜、微机械放大器、微纳光栅和引线，激光探测组件包括激光器、衰减片、衍射光探测器、基础光探测器、环境光探测器、偏振片、四分之一波片和分光镜，激光器发出激光束分为两束激光，一束激光射入基础光探测器，另一束激光入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。该加速度计能超高加速度‑位移转换，抑制了串扰，灵敏度高。

主权项

一种集成式超高精度单轴光学加速度计，其特征在于：包括壳体和安装在壳体内部的微纳光腔组件、激光探测组件、温度控制板和信号处理板；微纳光腔组件包括固定在壳体底板上的腔体以及固定在腔体顶部开口空腔内的压电薄膜、微机械放大器和微纳光栅，微纳光栅、压电薄膜和微机械放大器依次集成堆叠形成三明治式结构，压电薄膜上设有引线；激光探测组件包括固定的盖在腔体上的腔盖，腔盖顶壁安装有垂直的激光器和衰减片以及倾斜的衍射光探测器、侧壁安装有水平的基础光探测器和环境光探测器，激光器下方依次安装有偏振片、四分之一波片和分光镜；激光器发出激光束经偏振片和四分之一波片后通过分光镜分为两束激光，一束激光沿水平方向经过衰减片射入基础光探测器，另一束激光继续垂直入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。