[发明专利]具有应力分量的异质接面双极晶体管有效
| 申请号： | 201710513610.5 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107546264B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | V·贾殷;R·A·卡米洛卡斯蒂洛;A·K·斯坦珀 | 申请（专利权）人： | 格芯(美国)集成电路科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/737 | 分类号： | H01L29/737;H01L21/331 |
| 代理公司： | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人： | 程伟;王锦阳 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及具有应力分量的异质接面双极晶体管，其关于半导体结构，并且尤指具有应力分量的异质接面双极晶体管及其制造方法。该异质接面双极晶体管包括集电极区、发射极区与基极区。于衬底的沟槽内形成至少围绕该集电极区与该基极区的应力材料。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 分量 异质接面 双极晶体管 | ||
【主权项】：
一种双极性接面晶体管结构，其包含：集电极区、发射极区与基极区；以及应力材料，形成于衬底的沟槽内并且围绕至少该集电极区与该基极区。
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