[发明专利]一种玻璃基板上生长石墨烯的方法

摘要

本发明公开了一种玻璃基板上生长石墨烯的方法，所生长的石墨烯平铺在玻璃基板上，且存在褶皱，石墨稀的层厚为2‑5nm，形貌结构均匀。所述生长方法包括如下步骤1）以普通玻璃为基板，置于管式电阻炉中，玻璃基板置于365nm的紫外光照射下，同时石英管中引入微波。2）将管式电阻炉加热升温至350‑400℃，通入Ar‑H2‑CH4为反应气体，气体压强为10Pa，反应2小时。3）反应结束后，关闭电源，关闭紫外光和微波，继续通入Ar‑H2‑CH4混合气体，并使气体压强升至常压，利用混合气体冷却，使样品快速冷却至室温，得到所需的产物。本发明的玻璃基板上生长石墨烯的方法，衬底温度可低至350℃，这是石墨烯生长的非常低的温度，也是本发明的显著优势之一。且生长设备简单，操作方便，重复性好，良品率高，可实现规模化生产。

主权项

一种玻璃基板上生长石墨烯的方法，其特征在于，生长方法包括如下步骤：1）以普通玻璃为基板，置于管式电阻炉中，玻璃基板置于365nm的紫外光照射下，同时石英管中引入微波；2）将管式电阻炉加热升温至350‑400℃，通入Ar‑H2‑CH4为反应气体，气体压强为10Pa，反应2小时；3）反应结束后，关闭电源，关闭紫外光和微波，继续通入Ar‑H2‑CH4混合气体，并使气体压强升至常压，利用混合气体冷却，使样品快速冷却至室温，得到所需的产物。