[发明专利]低浓度六氟化硫气体回收装置及其回收方法

摘要

低浓度六氟化硫气体回收装置，包括混合气体进气口、第一压缩机、第二压缩机、存储罐、第一二位三通阀、第二二位三通阀、第三二位三通阀、第四二位三通阀、第一电动蝶阀、第二电动蝶阀、氮气输入口、氮气排空口、六氟化硫回收口、第一分子筛、第二分子筛和六氟化硫检测仪；第一分子筛金额第二分子筛内均设置有加热棒，第一分子筛和第二分子筛上均连接有压力表。本发明还公开了低浓度六氟化硫气体回收装置的回收方法。本发明利用分子筛可以吸附SF6气体的原理，且吸附量可以达到分子筛重量的50%，并且通过减压加热可以再生的特性，从而使尾气达标排放，减少对空气的污染，满足环保要求；本发明相比较膜分离装置，具有经济性和可实现性的优势。

主权项

低浓度六氟化硫气体回收装置，其特征在于：包括混合气体进气口、第一压缩机、第二压缩机、存储罐、第一二位三通阀、第二二位三通阀、第三二位三通阀、第四二位三通阀、第一电动蝶阀、第二电动蝶阀、氮气输入口、氮气排空口、六氟化硫回收口、第一分子筛、第二分子筛和六氟化硫检测仪；混合气体进气口与第一压缩机的进气口连接，第一压缩机的出气口与第一二位三通阀的第一端口连接，第一二位三通阀的第二端口与第二分子筛的混合气进口连接，第一二位三通阀的第三端口与第二分子筛的混合气进口连接，氮气输入口与第二二位三通阀的第一端口连接，第二二位三通阀的第二端口与第二分子筛的氮气入口连接，第二二位三通阀的第三端口与第一分子筛的氮气入口连接，第一分子筛的出气口与第一电动蝶阀的进气口连接，第一电动蝶阀的出气口与第三二位三通阀的第一端口连接，第二分子筛的出气口与第二电动蝶阀的进气口连接，第二电动蝶阀的出气口与第四二位三通阀的第一端口连接，第三二位三通阀的第二端口和第四二位三通阀的第三端口均通过六氟化硫检测仪与氮气排空口连接，第三二位三通阀的第三端口和第四二位三通阀的第二端口均与第二压缩机的进气口连接，第二压缩机的出气口通过六氟化硫回收口与存储罐的进气口连接。