[发明专利]一种高电阻率的红外探测器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种高电阻率的红外探测器及其制备方法，该红外探测器包括：至少一鳍结构单元，其具有至少一条鳍结构；敏感层，设置在鳍结构单元的侧壁，并且，具有一开口，从而使得敏感层具有两个贴附侧壁的端部，且两个端部不接触；第一电极层和第二电极层分别与两个端部一一连接，并且第一电极层和第二电极层之间互不接触。本发明通过设置垂直侧壁敏感层来提高敏感层电阻率，同时还确保降低光刻对敏感层的影响。

主权项

1.一种红外探测器，其特征在于，包括：至少一鳍结构单元，其具有至少一条鳍结构；敏感层，设置在鳍结构单元的侧壁，并且，具有一开口，从而使得敏感层具有两个贴附侧壁的端部，且两个端部不接触；第一电极层和第二电极层分别与两个端部一一连接，并且第一电极层和第二电极层之间互不接触；其中，所述鳍结构单元为U型鳍结构，包括两条沿第一方向的平行的鳍和一条沿第二方向的鳍，沿第二方向的鳍将沿第一方向的两条鳍的端部连接起来。