[发明专利]多重外延层的共射共基晶体管有效
申请号: | 201710516502.3 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN107482057B | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 李斌;彭俊益;王江;苏住裕 | 申请(专利权)人: | 厦门市三安集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L29/732 | 分类号: | H01L29/732;H01L29/06;H01L27/02 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;陈淑娴 |
地址: | 361000 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种多重外延层的共射共基化合物半导体晶体管,包括衬底以及于所述衬底上由下至上依次层叠的第一n型掺杂层、第一p型掺杂层、第二n型掺杂层、第三n型掺杂层、第二p型掺杂层和第四n型掺杂层,由下至上所述各掺杂层的长度依次递减以呈阶梯式排布,且所述各掺杂层裸露的台面上分别设有金属端子,其中第二n型掺杂层和第三n型掺杂层的金属端子电性连接。本发明通过台面堆栈式垂直外延结构实现共射共基结构,结合了底部共发射极器件的击穿电压和顶级共基极器件的击穿电压,大大提高了电压使用范围;相对于传统的水平放置式,可以实现更大的面积效率和成本效益。 | ||
搜索关键词: | 多重 外延 共射共基 晶体管 | ||
【主权项】:
1.一种多重外延层的共射共基晶体管,其特征在于:所述共射共基晶体管是化合物半导体晶体管,包括衬底以及于所述衬底上由下至上依次层叠的第一n型掺杂层、第一p型掺杂层、第二n型掺杂层、第三n型掺杂层、第二p型掺杂层和第四n型掺杂层,由下至上所述各掺杂层的长度依次递减以使各掺杂层呈阶梯式排布,且所述各掺杂层裸露的台面上分别设有金属端子,其中第二n型掺杂层和第三n型掺杂层的金属端子电性连接。
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