[发明专利]微机电感测器在审
| 申请号： | 201710516574.8 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN109205547A | 公开（公告）日： | 2019-01-15 |
| 发明（设计）人： | 简欣堂;施景瑞 | 申请（专利权）人： | 益周科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈小雯 |
| 地址： | 中国香港九龙旺角*** | 国省代码： | 中国香港;81 |
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| 摘要： | 本发明公开一种微机电感测器，包括：基板；绝缘结构，形成于该基板上，其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物，该等凸起物位于该锚结构的两侧；微机电元件，通过该锚结构与该等凸起物接合于该基板上，其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感测电极、质量块、以及多条梳状结构；以及上盖，设置于该微机电元件上，以用来保护该微机电元件。 | ||
| 搜索关键词： | 微机电元件 锚结构 凸起物 基板 电感测器 绝缘结构 微机 感测电极 梳状结构 中心结构 接合 质量块 上盖 | ||
【主权项】：
1.一种微机电感测器，其特征在于，包括：基板；绝缘结构，形成于该基板上，其中该绝缘结构包括锚结构与多个凸起物，该多个凸起物位于该锚结构的两侧，并呈对称排列；微机电元件，通过该锚结构与该多个凸起物接合于该基板上，其中该微机电元件包括中心结构、多个第一结构、多条感测电极、质量块、以及多条梳状结构，其中该中心结构位于该锚结构上，该多个第一结构彼此分离，且该第一结构包括第一部分以及与该第一部分连接的第二部分，该多个第一部分位于该多个凸起物上，该多个第二部分延伸出该多条感测电极，该质量块包围该中心结构、该多个第一结构、与该多条感测电极，并向内延伸出该多条梳状结构，且与该多个第一结构分离，其中该多条梳状结构与该多条感测电极交错形成多个电容结构；以及上盖，设置于该微机电元件上。
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