[发明专利]一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器有效
| 申请号： | 201710516770.5 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107153280B | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 陆荣国;叶胜威;刘天良;夏瑞杰;陈德军;张尚剑;刘永 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/03 | 分类号： | G02F1/03;G02F1/035 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 徐金琼;刘东 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 属于光电子技术领域，公开了一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层、条形光波导、电介质填充层、电介质隔离层、石墨烯带状线和电极，所述条形光波导上方依次设置有第一电介质隔离层、第一石墨烯带状线、第二电介质隔离层，所述第二电介质隔离层上设置有第二石墨烯带状线和第三石墨烯带状线，所述第一石墨烯带状线两端分别连接第一电极和第二电极，所述第二石墨烯带状线一端连接第一接地电极和第二接地电极，所述第三石墨烯带状线一端连接第三接地电极和第四接地电极；采用此结构在增加光调制器带宽的同时，光调制器与微波探针兼容，采用共面波导行波电极结构，制备相对简单，增强器件的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨烯 带状线 电介质隔离层 光调制器 接地电极 条形光波导 行波电极 一端连接 吸收型 电介质 光电子技术领域 行波电极结构 第二电极 第一电极 共面波导 微波探针 依次设置 衬底层 填充层 电极 制备 带宽 兼容 | ||
【主权项】：
1.一种基于石墨烯共面行波电极吸收型光调制器，包括衬底层(1)、条形光波导(2)、电介质填充层、电介质隔离层(6)、石墨烯带状线和电极，其特征在于：所述石墨烯带状线包括第一石墨烯带状线(4)、第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述电介质隔离层(6)包括第一电介质隔离层(61)和第二电介质隔离层(62)，所述条形光波导(2)上方依次设置有第一电介质隔离层(61)、第一石墨烯带状线(4)、第二电介质隔离层(62)，所述第二电介质隔离层(62)上设置有第二石墨烯带状线(7)和第三石墨烯带状线(8)，所述第一石墨烯带状线(4)两端分别连接第一电极(51)和第二电极(52)，所述第二石墨烯带状线(7)一端连接第一接地电极(91)和第二接地电极(92)，所述第三石墨烯带状线(8)一端连接第三接地电极(93)和第四接地电极(94)；所述第一接地电极(91)、第二接地电极(92)与第一电极(51)形成GSG(Ground‑Signal‑Ground)结构，所述第三接地电极(93)、第四接地电极(94)与第二电极(52)形成GSG结构。
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