[发明专利]光学调控电磁屏蔽玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 201710517878.6 | 申请日： | 2017-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN107144898A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 邱阳;陈玮;金扬利;祖成奎;韩滨;徐博 | 申请（专利权）人： | 中国建筑材料科学研究总院 |
| 主分类号： | G02B1/10 | 分类号： | G02B1/10;G03F7/20;H05K9/00 |
| 代理公司： | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)11348 | 代理人： | 王伟锋,刘铁生 |
| 地址： | 100024*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种光学调控电磁屏蔽玻璃及其制备方法，该方法为在结构支撑玻璃的表面涂覆光刻胶涂层；根据泰森多边形法计算无规则网格图形，将无规则网格的图形输入激光器中，在光刻胶涂层上进行激光直写刻蚀，除去结构支撑玻璃上多余的光刻胶，得到光刻胶掩膜；在光刻胶掩膜上镀制复合金属膜层；复合金属膜层包括过渡膜层和屏蔽金属膜层，过渡膜层附着在光刻胶掩膜上；过渡膜层的材料为氧化铝、铝和铬中的至少一种；屏蔽金属膜层的材料为金、银、铜、镍或铁；去除玻璃上的光刻胶。本发明的电磁屏蔽玻璃无莫尔干涉条纹现象，结构简单，耐候性强，同时具有高光学透过率和高屏蔽效能，其透光率大于80％，电磁屏蔽效能为大于等于20dB。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 调控 电磁 屏蔽 玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种光学调控电磁屏蔽玻璃的制备方法，其特征在于：其包括以下步骤:在结构支撑玻璃的表面涂覆光刻胶涂层；根据泰森多边形法计算无规则网格图形，将所述无规则网格的图形输入激光器中，在所述光刻胶涂层上进行激光直写刻蚀，除去结构支撑玻璃上无规则网格图形外围的光刻胶，得到具有无规则网格图形的光刻胶掩膜；在所述光刻胶掩膜上镀制复合金属膜层；所述的复合金属膜层包括过渡膜层和屏蔽金属膜层，过渡膜层附着在所述光刻胶掩膜上；所述的过渡膜层的材料为氧化铝、铝和铬中的至少一种；所述的屏蔽金属膜层的材料为金、银、铜、镍或铁；去除镀制完复合金属膜层的玻璃上的光刻胶，得到光学调控电磁屏蔽玻璃。
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