[发明专利]用于基于RF功率的衬底支撑件前馈温度控制的系统与方法有效
| 申请号： | 201710521370.3 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107564789B | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 张涛;田思源;埃里克·A·佩普;乔治·约瑟·扎尼诺维赫 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于基于RF功率的衬底支撑件前馈温度控制的系统与方法。提供了温度控制器，其包括接口、补偿控制器、加法器和第二控制器。接口接收偏置功率信号和等离子体信号。偏置功率信号指示RF发生器的偏置RF功率电平。等离子体信号指示另一RF发生器的等离子体RF功率电平。另一个接口接收指示衬底支撑件的温度的温度信号。补偿控制器基于偏置前馈传递函数和偏置RF功率电平产生补偿值，并且基于等离子体前馈传递函数和等离子体RF功率电平产生另一补偿值。加法器根据设定点和温度产生误差信号。第二控制器基于误差信号产生控制信号。另一个加法器根据补偿值和控制信号来控制致动器以调节温度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 基于 rf 功率 衬底 支撑 件前馈 温度 控制 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种用于衬底处理系统中的衬底支撑件的温度控制器，所述温度控制器包括：第一接口，其被配置为接收偏置功率信号和等离子体信号，其中所述偏置功率信号指示用于所述衬底支撑件的第一RF发生器的偏置射频(RF)功率电平，并且其中所述等离子体信号指示第二RF发生器的等离子体RF功率电平；第二接口，其被配置为接收温度信号，其中所述温度信号指示所述衬底支撑件的温度；补偿控制器，其被配置为：(i)基于偏置前馈传递函数和所述偏置RF功率电平产生第一补偿值，以及(ii)基于等离子体前馈传递函数和所述等离子体RF功率电平产生第二补偿值；第一加法器，其被配置为基于设定点温度和所述衬底支撑件的所述温度产生误差信号；第二控制器，其被配置为基于所述误差信号产生控制信号；以及第二加法器，其被配置为基于所述第一补偿值、所述第二补偿值和所述控制信号来控制致动器以调节所述衬底支撑件的所述温度。
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