[发明专利]一种单片集成声表面波滤波组件

摘要

本发明涉及一种单片集成声表面波滤波组件，包括硅单晶基片、制作在硅单晶基片顶面压电薄膜区上的声表面波滤波单元、选通滤波单元的多组金属梁及其固定电极、输入信号总电极、输出信号总电极，制作在硅单晶基片背面的控制金属梁的金属梁下拉电极及其下拉信号输入电极、下拉信号输入线，本发明采用片上集成的滤波单元选通互连结构，并采用动态特性与静态特性俱优的微机械式开关作为选通开关元件，结构紧凑、射频损耗小，滤波信道隔离性好。

主权项

一种单片集成声表面波滤波组件，其特征在于：包括硅单晶基片（1）、制作在硅单晶基片（1）顶面自左向右排列的若干个压电薄膜区（2），每个压电薄膜区（2）上均制作有声表面波滤波单元，声表面波滤波单元包括上下设置的输入叉指换能器（3）和输出叉指换能器（4），所述输入叉指换能器（3）包括输入信号端汇流电极（31）、输入接地端汇流电极（32）、一组其一端汇集至输入信号端汇流电极（31）的第一金属指电极(33)、一组其一端汇集至输入接地端汇流电极（32）的第二金属指电极（34），其一端汇集至输入信号端汇流电极（31）的第一金属指电极(33)和其一端汇集至输入接地端汇流电极（32）的第二金属指电极（34）相向交错排列，所述输出叉指换能器（4）包括输出信号端汇流电极（41）、输出接地端汇流电极（42）、一组其一端汇集至输出信号端汇流电极（41）的第三金属指电极（43）、一组其一端汇集至输出接地端汇流电极（42）的第四金属指电极（44），其一端汇集至输出信号端汇流电极（41）的第三金属指电极（43）和一组其一端汇集至输出接地端汇流电极（42）的第四金属指电极（44）相向交错排列；所述输入叉指换能器（3）的上侧制作有滤波组件的输入信号总电极（51），输出叉指换能器（4）的下侧制作有滤波组件的输出信号总电极（61），所述输入叉指换能器（3）和输出叉指换能器（4）之间制作有滤波组件的接地总电极（52）；所述输入信号总电极（51）与接地总电极（52）组成滤波组件的高频信号输入端口（5），所述输出信号总电极（61）与接地总电极（52）组成滤波组件的高频信号输出端口（6）；所述各个输入叉指换能器（3）的上侧还制作有对应的输入端金属梁内侧固定电极（71）、输入端金属梁外侧固定电极（72），即由下向上依次为输入端金属梁内侧固定电极（71）、输入信号总电极（51）、输入端金属梁外侧固定电极（72），输入端金属梁内侧固定电极（71）和输入端金属梁外侧固定电极（72）上制作有输入端金属梁（7），所述输入端金属梁（7）横跨作为其底电极的输入信号总电极（51），输入端金属梁内侧固定电极（71）与输入叉指换能器（3）的输入信号端汇流电极（31）相连；所述各个输出叉指换能器（4）的下侧还制作有对应的输出端金属梁内侧固定电极（81）、输出端金属梁外侧固定电极（82），即由上向下依次为输出端金属梁内侧固定电极（81）、输出信号总电极（61）、输出端金属梁外侧固定电极（82），输出端金属梁内侧固定电极（81）和输出端金属梁外侧固定电极（82）上制作有输出端金属梁（8），所述输出端金属梁（8）横跨作为其底电极的输出信号总电极（61），输出端金属梁内侧固定电极（81）与输出叉指换能器（4）的输出信号端汇流电极（41）相连；各个输入叉指换能器（3）的输入接地端汇流电极（32）和各个输出叉指换能器（4）的输出接地端汇流电极（42）与接地总电极（52）相连；所述硅单晶基片（1）顶面一端制作有金属梁下拉电平输入端口（9），所述金属梁下拉电平输入端口（9）包括若干金属梁下拉电平输入电极（91），每个金属梁下拉电平输入电极（91）上均制作有穿通硅单晶基片的金属通孔（93）；所述硅单晶基片（1）底面上，正对硅单晶基片（1）顶面声表面波滤波单元的输入端金属梁（7）与作为其底电极的输入信号总电极（51）交叠处的区域上制作有输入端金属梁下拉电极（73），正对硅单晶基片（1）顶面声表面波滤波单元的输出端金属梁（8）与作为其底电极的输出信号总电极（61）交叠处的区域上制作有输出端金属梁下拉电极（83）；硅单晶基片（1）底面上制作有若干根金属梁下拉电平输入线（92），各个金属梁下拉电平输入线（92）的外端连接对应的金属通孔（93），其内端连接对应的一组输入端金属梁下拉电极（73）和输出端金属梁下拉电极（83）。