[发明专利]一种物镜主动阻尼器控制方法及物镜主动阻尼器装置有效
| 申请号： | 201710525481.1 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109212706B | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 董磊;刘赟;廖飞红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种物镜主动阻尼器控制方法及物镜主动阻尼器装置，所述物镜主动阻尼器控制方法包括如下步骤:步骤1：根据基板的振动节点，对减振单元进行布局；步骤2：采用积分力反馈算法控制所述减振单元进行物镜减振；所述物镜主动阻尼器装置包括振动单元、基板和物镜，所述振动单元设置在基板和物镜之间，且所述振动单元在所述基板上的位置与所述基板的振动节点对应。采用本发明提出的物镜主动阻尼器控制方法及装置，可以减少物镜主动阻尼器受到的来自基板的干扰激励，并降低物镜主动阻尼器所需补偿行程；并能增加闭环控制系统的最大阻尼，补偿闭环控制系统最大阻尼不足的情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 物镜 主动 阻尼 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种物镜主动阻尼器控制方法，其特征在于，包括如下步骤:步骤1：根据基板的振动节点，对减振单元进行布局；步骤2：采用积分力反馈算法控制所述减振单元进行物镜减振。
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