[发明专利]通过奇次谐波混合调整离子能量分布函数的系统和方法有效
| 申请号： | 201710526734.7 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN107564791B | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 陈志刚;阿列克谢·马拉什塔内夫;约翰·帕特里克·霍兰德 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;张静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及通过奇次谐波混合调整离子能量分布函数的系统和方法。描述了用于控制应用于等离子体室内的衬底的工艺的系统和方法。所述系统和方法包括产生和供应奇次谐波信号，并且对奇次谐波信号求和以生成相加后的信号。相加后的信号被供应给等离子体室内的电极，以用于处理衬底。使用奇次谐波信号有助于衬底的高深宽比蚀刻。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 谐波 混合 调整 离子 能量 分布 函数 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种系统，其包括：射频(RF)发生器，其包括：奇次谐波电源，其被配置为产生n次谐波RF信号，其中n为奇数；耦合到所述奇次谐波电源的阻抗匹配电路，其中所述阻抗匹配电路被配置为在接收到所述n次谐波RF信号时输出n次经修正的谐波RF信号；耦合到所述阻抗匹配电路的倍频器，其中所述倍频器被配置为接收所述n次经修正的谐波RF信号以输出(n+2)次谐波RF信号；耦合到所述倍频器的变量调节器，其中所述变量调节器被配置为修正所述(n+2)次谐波RF信号的变量，以输出调整后的(n+2)次谐波RF信号；耦合到所述变量调节器和所述阻抗匹配电路的加法器，其中，所述加法器被配置为将所述n次经修正的谐波RF信号和所述调整后的(n+2)次谐波RF信号相加以提供相加后的RF信号；和耦合到所述RF发生器的等离子体室，其中所述等离子体室被配置为从所述加法器接收所述相加后的RF信号，以向所述等离子体室内的电极提供功率。
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