[发明专利]一种振动复合柔性磨抛装置有效
| 申请号： | 201710528424.9 | 申请日： | 2017-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN107414665B | 公开（公告）日： | 2019-12-10 |
| 发明（设计）人： | 肖远健 | 申请（专利权）人： | 肖远健 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/26;B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 35222 厦门智慧呈睿知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 郭福利;魏思凡 |
| 地址： | 361100 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供一种振动复合柔性磨抛装置，所述磨抛装置包括连接轴、背板、压电陶瓷、研磨盘以及研磨垫，所述背板固定在所述连接轴的一端，所述研磨盘固定在所述背板上；所述背板开设有容腔，所述背板的边缘朝向所述研磨盘凸起环形的固定部，所述研磨盘包括环形肩以及位于环形肩中部的凸台，所述环形肩与所述固定部固定连接，所述凸台与所述环形肩之间通过柔性铰链连接，所述容腔内对应所述凸台的位置设有所述压电陶瓷；所述研磨垫贴设在所述凸台上。本发明通过让凸台中部的振动幅度大于外围的振动幅度，有助于控制结构柔性和研磨的材料去除率。进一步，研磨垫的研磨面上开设有呈螺旋线分布的细沟槽使得研磨加工材料去除更佳均匀，提高研磨平面的磨抛质量。 | ||
| 搜索关键词： | 背板 环形肩 研磨盘 凸台 研磨 研磨垫 磨抛装置 压电陶瓷 振动幅度 固定部 连接轴 容腔 材料去除率 螺旋线分布 材料去除 复合柔性 控制结构 柔性铰链 研磨加工 平面的 细沟槽 磨抛 凸起 外围 | ||
【主权项】：
1.一种振动复合柔性磨抛装置，其特征在于，所述磨抛装置包括连接轴、背板、压电陶瓷、研磨盘以及研磨垫，所述背板固定在所述连接轴的一端，所述研磨盘固定在所述背板上；所述背板开设有容腔，所述背板的边缘朝向所述研磨盘凸起环形的固定部，所述研磨盘包括环形肩以及位于环形肩中部的凸台，所述环形肩与所述固定部固定连接，所述凸台与所述环形肩之间通过柔性铰链连接，所述容腔内对应所述凸台的位置设有所述压电陶瓷，所述凸台朝向所述压电陶瓷开设有半球槽，所述压电陶瓷包括压电模块与半球体连接部，所述半球体连接部与所述半球槽配合；所述研磨垫贴设在所述凸台上；其中，所述研磨盘一体制成，所述研磨盘相对的两面上分别开设有相对的设置的环形凹槽，所述环形凹槽将所述环形肩与所述凸台分隔开来，所述环形凹槽处的厚度比所述环形肩与所述凸台的厚度薄，所述环形凹槽处形成柔性铰链。/n
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