[发明专利]高温超导薄膜纳米桥结制备方法在审
| 申请号： | 201710531385.8 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107275472A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 芦佳;颜雷;丁洪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | H01L39/24 | 分类号： | H01L39/24;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所11497 | 代理人： | 黄小临,冯玉清 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及高温超导薄膜纳米桥结制备方法。根据一实施例，一种制备高温超导薄膜纳米桥结的方法可包括提供掩模板，所述掩模板具有用于定义将要形成的高温超导薄膜纳米桥结的形状的开口图案；用所述掩模板覆盖衬底；在所述掩模板上沉积高温超导材料的薄膜；移除所述掩模板，从而得到形成在所述衬底上的、具有所述掩模板的开口图案定义的形状的高温超导薄膜纳米桥结；以及对所述高温超导薄膜纳米桥结进行微加工处理以获得所需的桥宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 高温 超导 薄膜 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种制备高温超导薄膜纳米桥结的方法，包括：提供掩模板，所述掩模板具有用于定义将要形成的高温超导薄膜纳米桥结的形状的开口图案；用所述掩模板覆盖衬底；在所述掩模板上沉积高温超导材料的薄膜；移除所述掩模板，从而得到形成在所述衬底上的、具有所述掩模板的开口图案定义的形状的高温超导薄膜纳米桥结；以及对所述高温超导薄膜纳米桥结进行微加工处理以获得所需的桥宽度。
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