[发明专利]体声波滤波器装置及其制造方法有效
| 申请号： | 201710532587.4 | 申请日： | 2017-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN107592091B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 林昶贤;李文喆;韩源;李泰京;金大虎 | 申请（专利权）人： | 三星电机株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17 |
| 代理公司： | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人： | 刘奕晴;金光军 |
| 地址： | 韩国京畿*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开提供一种体声波滤波器装置及其制造方法，所述体声波滤波器装置包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分。所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动。所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。 | ||
| 搜索关键词： | 声波 滤波器 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种体声波滤波器装置，包括：基板；下电极，在所述基板上；压电层，覆盖所述下电极的至少部分；及上电极，覆盖所述压电层的至少部分，其中，所述上电极具有密度减小层，所述密度减小层设置在所述上电极的除所述体声波滤波器装置的谐振区的中央部分之外的至少部分上，所述体声波滤波器装置的谐振区在所述压电层的激发过程中随着所述压电层变形和振动，所述密度减小层的密度小于所述上电极的其他部分的密度。
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