[发明专利]研磨工艺的控制方法、研磨装置和机器人研磨系统有效

专利信息
申请号: 201710534319.6 申请日: 2017-07-03
公开(公告)号: CN109202721B 公开(公告)日: 2021-12-03
发明(设计)人: 三原秀一;凌夏冰;周雯瑾 申请(专利权)人: 株式会社安川电机
主分类号: B24B51/00 分类号: B24B51/00
代理公司: 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人: 李带娣;罗满
地址: 日本国北九州*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明公开了一种研磨工艺的控制方法、研磨装置和机器人研磨系统,该控制方法具体为:研磨初始阶段,执行速度控制以控制磨具与被加工件相对靠近的速度;检测磨具与被加工件之间的压力,判断磨具与被加工件之间的接触压力与预设接触压力的大小,当所检测的接触压力大于或者等于预设接触压力时,则停止执行速度控制,并执行扭矩控制以控制驱动部件的输出扭矩使磨具与被加工件之间的压力由当前状态的接触压力逐渐增长至预定磨削压力范围,并维持接触压力处于预定磨削压力范围对被加工件进行研磨;控制方法可以起到很好的力缓冲作用,起到很好保护磨具,提高磨具使用寿命,以及增加被加工件表面加工精度的作用。
搜索关键词: 研磨 工艺 控制 方法 装置 机器人 系统
【主权项】:
1.一种研磨工艺的控制方法,其特征在于,具体步骤如下:研磨初始阶段,执行速度控制以控制磨具与被加工件相对靠近的速度;检测所述磨具与所述被加工件之间的压力,判断所述磨具与所述被加工件之间的压力与预设接触压力的大小,当所检测的压力大于或者等于所述预设接触压力时,则停止执行所述速度控制,并执行扭矩控制以控制驱动部件的输出扭矩使所述磨具与所述被加工件之间的压力由当前状态的接触压力变为预定磨削压力范围内,并维持所述压力处于所述预定磨削压力范围对所述被加工件进行研磨。
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