[发明专利]感光型干膜及其应用有效
| 申请号： | 201710536263.8 | 申请日： | 2017-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN107329370B | 公开（公告）日： | 2021-01-05 |
| 发明（设计）人： | 蔡宗修;李明哲;何长鸿 | 申请（专利权）人： | 长兴材料工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/033 | 分类号： | G03F7/033;G03F7/037;G03F7/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 宋静娜;郝传鑫 |
| 地址： | 中国台湾高*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种感光型干膜及其应用方法。该感光型干膜包含支撑基材及位于该支撑基材上的感光型树脂层，其中该支撑基材包含与该感光型树脂层接触的第一表面以及与该第一表面相对的第二表面，且该第一表面具有非平滑结构。 | ||
| 搜索关键词： | 感光 型干膜 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种感光型干膜，其包含支撑基材及位于该支撑基材上的感光型树脂层，其中该支撑基材包含与该感光型树脂层接触的第一表面及与该第一表面相对的第二表面，且该第一表面具有非平滑结构。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于长兴材料工业股份有限公司，未经长兴材料工业股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710536263.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种碱可溶感光性组合物及其制备方法与应用
- 下一篇：微纳米器件光刻加工方法
