[发明专利]一种高效低成本太阳能电池扩散工艺

摘要

本发明公开了一种高效低成本太阳能电池扩散工艺，本发明在常压扩散炉石英管中使用密舟装载硅片，在进舟升温之后，通入氧气进行前氧化过程，然后升温之后，进行一次推结、一次沉积、二次沉积以及二次推结之后，升温进行高温推结，升温推结之后，经由后氧过程，最后降温吸杂处理之后，出舟完成本发明的扩散工艺。本发明能够增加扩散产能、降低工艺气体成本、提高扩散方阻的均匀性和重复性，优化了表面掺杂浓度和结深，改善蓝光响应，并减少硅片内部缺陷，提高了太阳能电池转换效率。

主权项

一种高效低成本太阳能电池扩散工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）将制绒的硅片装入密舟中，并将密舟推入内部温度为750~780℃的扩散炉石英管中，并通入大氮，保持10~20 min；（2）升温至780~820℃，并保持通入大氮，同时通入O2，保持5~10min；（3）保持恒温780~800℃，并保持通入大氮，同时通入携带PoCl3N2的小氮，以及O2，保持5~10 min；（4）将温度升高至820~840℃，并保持通入大氮，待恒温后，同时通入携带PoCl3N2的小氮，以及O2，保持5~10 min；（5）将温度升高至840~870℃，保持通入大氮，停止通入小氮，同时通入O2，保持10~30 min；（6）将温度降低至750~780℃，保持通入大氮，停止通入氧气，进行退火吸杂；（7）在温度750~780℃，并且保持通入大氮的环境下，将装有硅片的密舟从扩散炉中拉出。